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HOME > 제품소개 > Cleanroom |
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 CLEANROOM의 일반 |
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| • 기류방식 비교 |
| 방식/항목 |
청정도(F.S) |
가동시청
정도 |
운전비 |
Layout
변경 |
공조제어 |
방 식 |
수직층류방식
Vertical Laminar
Airflow CleanRoom |
(Class1~100) |
작업자
로부터의
영향은 적다. |
고 |
용이 |
실전체제어
때문에
실내에서의
불균형
약간 있음 |
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수평층류방식
Horizontal Laminar
Airflow CleanRoom |
(Class 100) |
상류의 발진이
하류에 영향을끼친다. |
중 |
곤란 |
상류의 발진이
하류에 영향을끼친다. |
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난류방식
Turbulent Airflow
Clean Room |
(Class 1,000
~ 100 ,000) |
작업자
로부터의
영향이있다. |
저 |
용이 |
불균형 있음 |
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혼류방식
Mixed Airflow
Clean Room |
(Class 1,000
~ 100,000) |
작업자
로부터의
영향은 약간
있다. |
중 |
용이 |
불균형 있음 |
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터널방식
Tunnel
Clean Room |
(Class~100) |
작업자로
부터의
영향은
가장 적다. |
중 |
곤란 |
작업부마다
고정밀도
제어 가능 |
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클린튜브방식
Clean Tube |
(Class 0
~1,000) |
작업자로
부터의
영향은 없다 |
저 |
곤란 |
고청정도 유지 |
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| • CLEAN ROOM의 각실간의 필요 압력차 |
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• CLEAN ROOM의 CLASS별 표준적 순환풍량 |
| ROOM |
압력차(mmAq) |
| 청정도 Class가 다른 CleanRoom |
0.5 |
| Clean Room과 Clean복도, 갱의실 |
0.5 ~ 1.0 |
| Clean복도, 갱의실등과 일반실 |
1.0 |
| Clean Room과 일반실 |
1.5 |
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| 청정도 |
환기회수(회/h) |
| Class 100 |
200 ~ 600 |
| 1,000 |
50 ~ 70 |
| 10,000 |
30 ~ 40 |
| 100,000 |
20 ~ 30 |
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| • 에어필터의 종류 및 특성 |
| 종류/특성 |
형식 |
사용예제 |
분진
입경 |
압력손실(mmAq) |
분집포집효율(%) |
분진
유지
용량 |
| 초기 |
최종 |
중량법
(1) |
비색법
(1) |
계수법
(2) |
| 초급성능 |
롤형필터
(재생, 사용후폐기)
판넬형필터
(재생, 사용후폐기) |
부직포, 직물,
스폰지, 유리매트 |
5㎛
이상 |
1~10 |
5~20 |
30~98 |
5~20 |
- |
300~800
g/㎡ |
| 98이상 |
50~70 |
20~40 |
| 중성능 |
여재절곡형 필터
취류형 필터 |
부직포, 스폰지,
유리여지, 유리매트 |
1㎛
이상 |
5~10 |
10~20 |
98이상 |
85~98 |
50~90 |
100~500
g/Unit |
| 고성능 |
여재절곡형 필터
취류형 필터 |
부직포, 스폰지,
유리여지, 유리매트 |
1㎛
이하 |
10~15 |
20~30 |
- |
- |
99.97
(3) |
100~500
g/Unit |
| 초고성능 |
여재절곡형 필터 |
유리여지 |
1㎛
이하 |
12~25 |
25~50 |
80~90 |
80~90 |
60~90 |
200~800
g /㎡ |
| 정전식 |
일단하전
+여재 이단하전
이단하전
+여재 유진형 |
부직포, 유리매트 |
1㎛
이하 |
3~7 |
3~15 |
AFI |
NBS |
DOP |
500~80
g /㎡
(4) |
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1) ASHRAE STANDARD 52~76에 따른 측정
2) 0.3㎛단분산DOP 입자에따른 측정
3) 일반적HEPA FILTER의경우 4) 여재부의 분진유지용량 |
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| • 공조설비 계획 순서 |
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| ↕ |
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↕ |
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↕ |
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↕ |
*
건물의
*ㆍ목적
*ㆍ기능
*ㆍ규모
* 구 조
* 예 산
* 공 기 |
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ㆍ공조의
범위
ㆍ실내 환경의 정도
ㆍ공조방식의
검토
ㆍ공조의 개략 예산
ㆍ자료의
수집
ㆍ기계실의 위치
ㆍ덕트배관
ㆍLAYOUT
ㆍ기타
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ㆍ기본 계획도
ㆍ개략적인
사양서
ㆍ개략적인 예산서 |
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ㆍ공조
방식의 검토
ㆍ및
결정
ㆍ열원 방식의 검토
ㆍ및
결정
ㆍ개략적인 부하계산
ㆍ각
스페이스 및
ㆍ그
위치
ㆍ장비의 배치 계획
ㆍ차폐열,
방음.
ㆍ건축 계획과의 융합
ㆍ기타(방신,
방습 등)
--------------------
ㆍ실시계획도
ㆍ개략적인
사양서
ㆍ개략적인 예산서 |
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ㆍ부하계산
ㆍ풀량산출
ㆍ장비
부하 산출
ㆍ기기선정
ㆍ덕트
및 배관 설계
ㆍ개략적인 예산서
ㆍ도면
ㆍ사양서
--------------------
ㆍ예산서 등
ㆍ시방서
ㆍ(특기
시방서) |
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| • 클린룸의 설계시 유의점(Design Guidelines) |
| 구
분 |
유 의 사
항 |
기류방식
(Patterns of Air Flow) |
층류식(수직,수평), 난류식, 혼류식, 터널식이 있고 각각의 특징을
가지며 사용 목적을 고려하여 결정합니다. |
청정도
(Cleanliness Level) |
클린룸의 청정도는 제품에 요구되는 정도에 의해 결정됩니다.
청정도 레벨은 기류방식, 환기 횟수, 실내압력 등을 검토하여 결정합니다. |
계 획
(Lay-out) |
작업성을 고려하고 또한 청정도를 만족하도록 Lay-Out을 결정합니다.
먼지 발생이 많은 작업은 다른 작업과 격리합니다.
또 사람, 물건의 출입구, 통로, Utility, 유지보수 등을 종합적으로 검토하는 것이 필요합니다. |
구조자료
(Structure & Materials) |
가능한 실내표면을 매끄럽게해서
흐트러지거나 먼지가 쌓이지 않는 구조로 합니다. 먼지발생이 적을 뿐만 아니라 일자가 잘 부착되지
않고 청소가 용이한 재료를 선택합니다. 작업 내용에 따라 내약품성, 내습성, 내화성을 가진 재료를
사용하는 경우도 있습니다. |
부속장치
(Equipments) |
클린룸을 수겅하는 주변 장치에는
먼지제거, 압력유지용에 Air Shower(사람의 입실용), Pass-Box(물건 출입용),
Relief Damper(실내 압력 조정용)등이 있고, 물품, 무빈복의 보관의 위한 Clean
Stoker, Clean Locker등이 있습니다. 따라서 각각의 기능의 충분한 이해가 필요합니다. |
사람과 물건의 관리
(Control of working
persons &materials) |
작업장 외부에서 반입되는 물품은 최대의 발진원입니다.
부진복과 화장의 문제등을 포함하여 작업자는 클린룸화에 대한 기본 지식이 필요합니다. |
유틸리티
(Utility) |
급배수, 가스, 전기등 에너지 공급을 위한 장치는 기류방식, Lay
Out의 Flexibility를 고려하여 결정해야 합니다.
또 유지보수시에는 청정도 저하를 초래하지 않도록 고려할 필요가 있습니다. |
안전대책과 비상계획
(Safety & Emergency Plan) |
클린룸은 밀폐구조이므로 화재, 가스누설등에 대한 대비책을 검토할 필요가
있습니다. |
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