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 CLEANROOM의 일반
• 기류방식 비교
방식/항목 청정도(F.S) 가동시청
정도
운전비 Layout
변경
공조제어 방 식
수직층류방식
Vertical Laminar
Airflow CleanRoom
(Class1~100) 작업자
로부터의
영향은 적다.
용이 실전체제어
때문에
실내에서의
불균형
약간 있음
수평층류방식
Horizontal Laminar
Airflow CleanRoom
(Class 100) 상류의 발진이
하류에 영향을끼친다.
곤란 상류의 발진이
하류에 영향을끼친다.
난류방식
Turbulent Airflow
Clean Room
(Class 1,000
~ 100 ,000)
작업자
로부터의
영향이있다.
용이 불균형 있음
혼류방식
Mixed Airflow
Clean Room
(Class 1,000
~ 100,000)
작업자
로부터의
영향은 약간
있다.
용이 불균형 있음
터널방식
Tunnel
Clean Room
(Class~100) 작업자로
부터의
영향은
가장 적다.
곤란 작업부마다
고정밀도
제어 가능
클린튜브방식
Clean Tube
(Class 0
~1,000)
작업자로
부터의
영향은 없다
곤란 고청정도 유지
 
• CLEAN ROOM의 각실간의 필요 압력차   • CLEAN ROOM의 CLASS별 표준적 순환풍량
ROOM 압력차(mmAq)
청정도 Class가 다른 CleanRoom 0.5
Clean Room과 Clean복도, 갱의실 0.5 ~ 1.0
Clean복도, 갱의실등과 일반실 1.0
Clean Room과 일반실 1.5
 
청정도 환기회수(회/h)
Class 100 200 ~ 600
1,000 50 ~ 70
10,000 30 ~ 40
100,000 20 ~ 30
• 에어필터의 종류 및 특성
종류/특성 형식 사용예제 분진
입경
압력손실(mmAq) 분집포집효율(%) 분진
유지
용량
초기 최종 중량법
(1)
비색법
(1)
계수법
(2)
초급성능 롤형필터
(재생, 사용후폐기)
판넬형필터
(재생, 사용후폐기)
부직포, 직물,
스폰지, 유리매트
5㎛
이상
1~10 5~20 30~98 5~20 - 300~800
g/㎡
98이상 50~70 20~40
중성능 여재절곡형 필터
취류형 필터
부직포, 스폰지,
유리여지, 유리매트
1㎛
이상
5~10 10~20 98이상 85~98 50~90 100~500
g/Unit
고성능 여재절곡형 필터
취류형 필터
부직포, 스폰지,
유리여지, 유리매트
1㎛
이하
10~15 20~30 - - 99.97
(3)
100~500
g/Unit
초고성능 여재절곡형 필터 유리여지 1㎛
이하
12~25 25~50 80~90 80~90 60~90 200~800
g /㎡
정전식 일단하전
+여재 이단하전
이단하전
+여재 유진형
부직포, 유리매트 1㎛
이하
3~7 3~15 AFI NBS DOP 500~80
g /㎡
(4)
1) ASHRAE STANDARD 52~76에 따른 측정
2) 0.3㎛단분산DOP 입자에따른 측정
3) 일반적HEPA FILTER의경우 4) 여재부의 분진유지용량
 
• 공조설비 계획 순서
기 획
 
기 본 계 획
 
실 시 계 획
 
실 시 설 계
     
* 건물의
*목적
*기능
*규모

* 구 조
* 예 산
* 공 기
 
공조의 범위
실내 환경의 정도
공조방식의 검토
공조의 개략 예산
자료의 수집
기계실의 위치
덕트배관
LAYOUT
기타
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기본 계획도
개략적인 사양서
개략적인 예산서
 
공조 방식의 검토
및 결정
열원 방식의 검토
및 결정
개략적인 부하계산
각 스페이스 및
그 위치
장비의 배치 계획
차폐열, 방음.
건축 계획과의 융합
기타(방신, 방습 등)
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실시계획도
개략적인 사양서
개략적인 예산서
 
부하계산
풀량산출
장비 부하 산출
기기선정
덕트 및 배관 설계
개략적인 예산서
도면
사양서
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예산서 등
시방서
(특기 시방서)
 
• 클린룸의 설계시 유의점(Design Guidelines)
구 분 유 의 사 항
기류방식
(Patterns of Air Flow)
층류식(수직,수평), 난류식, 혼류식, 터널식이 있고 각각의 특징을 가지며 사용 목적을 고려하여 결정합니다.
청정도
(Cleanliness Level)
클린룸의 청정도는 제품에 요구되는 정도에 의해 결정됩니다.
청정도 레벨은 기류방식, 환기 횟수, 실내압력 등을 검토하여 결정합니다.
계 획
(Lay-out)
작업성을 고려하고 또한 청정도를 만족하도록 Lay-Out을 결정합니다.
먼지 발생이 많은 작업은 다른 작업과 격리합니다.
또 사람, 물건의 출입구, 통로, Utility, 유지보수 등을 종합적으로 검토하는 것이 필요합니다.
구조자료
(Structure & Materials)
가능한 실내표면을 매끄럽게해서 흐트러지거나 먼지가 쌓이지 않는 구조로 합니다. 먼지발생이 적을 뿐만 아니라 일자가 잘 부착되지 않고 청소가 용이한 재료를 선택합니다. 작업 내용에 따라 내약품성, 내습성, 내화성을 가진 재료를 사용하는 경우도 있습니다.
부속장치
(Equipments)
클린룸을 수겅하는 주변 장치에는 먼지제거, 압력유지용에 Air Shower(사람의 입실용), Pass-Box(물건 출입용), Relief Damper(실내 압력 조정용)등이 있고, 물품, 무빈복의 보관의 위한 Clean Stoker, Clean Locker등이 있습니다. 따라서 각각의 기능의 충분한 이해가 필요합니다.
사람과 물건의 관리
(Control of working
persons &materials)
작업장 외부에서 반입되는 물품은 최대의 발진원입니다.
부진복과 화장의 문제등을 포함하여 작업자는 클린룸화에 대한 기본 지식이 필요합니다.
유틸리티
(Utility)
급배수, 가스, 전기등 에너지 공급을 위한 장치는 기류방식, Lay Out의 Flexibility를 고려하여 결정해야 합니다.
또 유지보수시에는 청정도 저하를 초래하지 않도록 고려할 필요가 있습니다.
안전대책과 비상계획
(Safety & Emergency Plan)
클린룸은 밀폐구조이므로 화재, 가스누설등에 대한 대비책을 검토할 필요가 있습니다.