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 CLEANROOM의 규격
• 미연방규격(Fed. Std 209)변화와 ISO 규격(14644)
 
• NASA 규격(NASA Standard)
 
• 청정도의 비교(F.S 와 ISO)
NOTE)
CFU : Colony Forming Unit 입자에 의한 CLASS 표시와의 관계는 표준치로서 미항공우주국규격(NASA)이 있다.
▲ 클래스별 상한 허용 입자수(입경이상의입자수)(개/㎥)
NOTE)
• 클래스별 허용 입자수는 입경0.1 및 0.5㎛의 값이 기준으로 되어있다.
• 표준적으로는 이표의 입경별 허용 입자수를 사용하나, 측정기에. 따라 다른 입경의 입자수가 얻어 지는 경우에는 해설에 준하여 보간에 의해
해당 입경에 대한 입자수를 구해 그것을 허용입자수로. 사용하여도 된다.