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클린룸

CLEAN ROOM

CLEANROOM

  CLEAN ROOM(크린룸)의 정의

실내 공기중의 부유 미립자가 관리되고, 실내의 온도, 습도, 압력, 유해가스, 진동, 실내조도, 기류의 분포와 속도등을 일정 범위내로 제어하기 위해 만들어진 특수한 실내를 크린룸이라고 합니다. 크린룸은 반도체산업 뿐 아니라 다양한 전자산업, 정밀기기, 의약품제조, 식품제조산업, 광학기계, 병원, 실험실 등등 전 산업분야에 포괄적으로 사용되고 있습니다.

  CLEAN ROOM의 5대 원칙

크린룸을 효율적으로 사용하고 유지하기 위해서는 준수되어야할 사항입니다.

기본원칙 고려사항 조치사항
1. Preventing 실내공기 압력 실간 차압조정, 양압유지, 도입외기량 조정
건축적인 통선 계획 작업원, 물류, 원료의 동선 구분
청정역과 오염역의 구분
Air Lock, Air Shower 설치
HEPA Filter Filter Leak 방지
2. Prohibiting 인원관리 필요인원 출입통제, 작업원 동선최소화
인원의 복장관리 무균의, 청정장갑 착용, 인체호흡 기류차단
건축내장재, 자료 표면 가공처리, 무발진 재료사용
3. Protecting 실내기류 취출구 위치조정, 증류풍속 및 환기횟수 조정
건축 내장재 무정전 내장재 사용, Conner Mould 사용
실내청소 청소기준에 따른 지속실시
4. Purging Clean Room 방식 시설용도의 정확한 파악
실내기류 기류 분포 예상 및 환기구 위치 조정 발진
환기횟수 환기횟수를 높게 유지
5. Providing 향온방습 System 향온방습기 셀러, 작업인원 및 생산설비의 발열량 고려

  FILTER의 포집이론 및 측정법 종류

  • 측정법 종류 Methods for Measurement

    중량법(AFI) - Air Filter institut
    - Dust weight Arrest EFF
    - 1㎛이상 제진입자에 적용
    - Pre Filter, 외기처리 Filter
    비색법(NBS) - National Bureau of Standard
    - Dust Spot Efficiency
    - 1㎛이하의 부유미립자제진에 적용
    - Medium Filter
    계수법(DOP) - Dioctyl Phthalate
    - Fractional Efficiency
    - 0.3㎛이하의 입자제진에 적용
    - HEPA Filter, ULPA Filter

  • FILTER 포집이론 Particle Removal Meachanism

    관성효과 (INERTIA) 입자자신의 관성에 의해 Filter 여재에 충돌포집
    확산효과 (BROWNIAN DIFFUSION) 공기의 흐름과 상관없이 브라운운동에 의한 확산포집
    차단효과 (INTERCEPTION) 입자크기 때문에 차단포집
    중력효과 (GRAVITATIONAL SETTING) 입자의 자기 중력에 의해 침강포집

  기류 방식과 특징

Air-Flow 수직층류방식
Vertical Laminar Airflow		 수평층류방식
Horizontal Laminar Airflow		 난류방식
Turbulent Airflow		 혼류방식
Mixed Airflow		 터널방식
Tunnel
청정도
Cleanliness Level		 M1.5~3.5
(Class 1~100)		 M3.5
(Class 100)		 M4.5~6.5
(Class 1,000~100,000)		 M4.5~6.5
(Class 1,000~100,000)		 M1.5~3.5
(Class 1~100)
가동시 청정도
Cleanliness Level in Operation		 작업자로부터의 영향은 적다. 상류발진이 하류에 영향을 미친다. 작업자로부터 영향이 있다. 작업자로부터의 영향이 없다. 작업자로부터의 영향은 가장 적다.
초기비용
Initial Cost		 고 중 저 중 중
운영비
Operating Cost		 고 중 저 저 중
Layout 변경
Modification		 용이 어려움 용이 어려움 어려움
제조장치보수
Maintenance of manufacturing machiney		 용이 용이 용이 어려움 용이
확장성
Expansion		 어려움 어려움 어려움 어려움 용이
정밀제어
Air Handing with Precise Control		 실 전체 제어 때문에 실내에서의 불균형이 약간 있다. 상류의 발진이 하류에 영향을 끼친다. 불균형 있다. 불균형 있다. 작업부마다 고 정밀도 제어가능하다.
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