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클린룸

CLEAN ROOM

규격

   HEPA FILTER 규격

IES-RP-CC-001-83-T Standard
Item Contents
Classification by efficiency A형 효율이 0.38형㎛, 99.97% 이상
B형 정격풍량 및 20% 풍량시 효율이 0.3㎛, 99.97% 이상(pinhole 검사)
C형 표면전체에 대해 스케닝테스트를 행한다. (Scanning)
D형 리크테스트 후에 효율이 0.3㎛, 99.999%이상 (HEPA, ULPA FILTER)
E형 MIL규격합격품 (유독물질, 발암물질, 방사선 동위원소, 유해균, 화학물질 등에서 사용되는 특수품)
Classification by Materials 1급 내화성 (Fire Resistance)
2급 준내화성 (Semi Fire Resistance)
Strength 차압 10"H2O에서 15분간 견딜 것
Repairs 스폿보수는 1개소당 13cm²이하로 표면에 1% 이하로 한다.
Vibration 주름방향에 19.1mm의 진폭을 200 cycles/min로 15분 가해서 이상이 없을것
Marks 규격, 형(A-E), 소재(1~2), 풍량, 형식, 투과율, 압력저항, 제조번호, 기류방향
Preservation 세퍼레이터는 수직방향으로 보존하며, 2mm이상 적재하여 올리면 안된다.

Note : HEPA FILTER에 관한 대표적인 규격은 AACC CS-1T, BS3928METHOD FOR SODIUM FLAME TEST FOR AIR FILTERS IES-RP-CC-001-83-T등이 있다.
미국에서 대표적인 규격으로 IES-RP-CC-001-83-T의 개요를 좌측에서 나타낸다.

  CLEAN ROOM의 규격

크린룸에 관한 규격은 국내의 규격이 있지만, 대부분 미국과 일본의 규격을 인용한 것으로 통상적으로 미국의 규격을 사용하고 있다.
산업용 크린룸은 미연방규격인 FEDRAL STANDARD 209E 규격을 사용하고, 바이오 크린룸은 미항공우주국(NASA), NHB 5340.2 규격을 사용한다.(도표 생략)

ISO(국제표준화기구)

크린룸의 중요성이 국제적으로 널리 인정되어 크린룸의 국제 표준화 작업이 ISO/TC 209를 중심으로 1993년부터 일부 내용이 국제규격으로 확정되고 있다.

미국

미국은 크린룸 규격을 가장 많이 보유하고 있는 나라로 국가기관(NASA, DOE, FDA, NRC, GSA, NIH, ARMY, NAVY, AIR FORCE), 기술자 협회(IEST, ASME, SAE, ASHRAE), 규격작성협회(ASTM, NSF, UL)에서 규격을 만들어 사용하고 있다.
대표적인 규격으로는 GSA(GENERAL SERVICE ADMINISTRATION)에서 만든 공기 청정도 등급에 대한 FEDRAL STANDARD 209와 IEST(INSTITUTE OF ENVIRONMENTAL SCIENCES AND TECHNOLOGY)에서 만든 크린룸 성능평가 에 대한 IEST-RP-CC006.2가 있다.

미국연방규격인 FEDERAL STANDARD 209는 미국뿐만 아니라 세계적으로 널리 사용되고 있는 대표적인 크린룸 규격이다.
미국 ATOMIC ENERGY COMMISSION의 한 공공기관인 SANDIA CORPORATION에 으해 작성되어 1963년 FED-STD-209로 제정되었다.
그후 5차례 개정(1966년-209A, 1973년-209B, 1987년-209C, 1988년-209D, 1992년-209E)되어 현재 FED-STD-209E가 사용되고 있다.

미국의 IEST에서는 크린룸의 다양한 분야에 관한 20여개의 규격을 보유하고 있다.

일본

일본에서는 공업규격인 JIS가 있고 크린룸 관련 단체로 일본공기청정협회(JACA)가 있다. JIS에는 크린룸 및 오염제어에 관한 규격이 30여개에 이르고, 공기 청정도 등급에 대한 규격으로 JIS B 9920(1988년)이 있다.
JACA에서 만든 대표적인 규격은 크린룸 성능평가에 대한 JACA NO.24(1989년)와 크린룸 운영관리에 대한 JACA NO.14C(1992년)가 있다.
JACA에서 보유하고 있는 크린룸 규격은 16여개에 이른다.

한국

국내에서는 크린룸 규격의 중요성을 인식하여 국제적인 추세에 부응하고 동시에 국내 실정에 맞는 크린룸 시스템의 설계, 시험, 측정 및 시공제작, 운영관리 등 종합적인 크린룸 규격을 제정하기 위하여 과학기술부의 특정연구개발사업의 일환으로 한국과학기술연구원과 한국공기청정연구조합이 공동으로 "크린룸 기술 기준에 관한 연구"를 1988년부터 3년 동안 수행하였다.
이러한 연구수행 결과로 1991년 11월에 "청정실 기술 기준(최종시안)"이 만들어졌으며, 그 후 한국공기청정연구조합에서는 기술기준 제정위원회를 신설하여 "청정실 기술 기준(최종시안)"의 내용과 골격을 수정, 보완하여 1994년 9월 공업진흥청으로부터 단체 표준 규격으로 승인을 받았다.

국내에서 만든 "청정실 기술 기준(KACRA-94-01-001A)"은 4개의 분야로 구성되어 있다.

작업중인 국제 규격(안)과 가장 크 차이점은 생물성 입자 오염에 대한 국내 규격이 없다는 것이다.
KACRA-94-01-001A의 PART 1에 공기 청정도 등급에 대하여 규정되어 있지만 이와 별도로 한국산업규격(KS B-6741-1995)에 공기 청정도 등급에 대하여 규정되어 있다.